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(青岛福润德微电子设备有限公司)10月29日,经过两天的长途运输后,双管炉离开岛城抵达苏州。技术安装人员在30号为厂家安装并试运行。

该设备是一种高精度、高可靠性的自控炉。控制部分采用日本岛电公司的MR13高精度电脑温度程序控制仪。可以根据工艺要求设定九段工艺温度曲线,进行升温、恒温、降温控制。直观显示各区温度。控温范围为:400-1260℃。由于采用先进电子器件、优质加热元件、进口保温棉,严格的技术工艺管理,使该扩散炉具有很高的可靠性、稳定性和实用性,适合硅片退火、扩散、氧化、合金等工艺。


炉体采用圆柱形结构。外壳采用不锈钢板,保温材料采用进口摩根高密度保温棉,优质95瓷拉条绝缘子,炉丝采用康泰尔Ф8.0mm 高温铁铬铝丝。炉丝引线采用与炉丝材质相同的引线板经氩弧焊焊接而成。炉体上装有三只控温热偶和一只超温保护热偶。炉体有效口径Φ140mm.

如果您需要有其他功能,可以与我公司工程师商定后写入技术协议,我公司将竭诚为您量身定制一台更符合您要求的设备!