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扩散炉的基本结构

点击数:27542015-12-14 00:00:00 来源: 青岛福润德微电子设备有限公司

新闻摘要: 扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。

 扩散炉由控制系统、进出舟系统、炉体加热系统和气体控制系统等组成。

  扩散炉控制系统
 
控制部分包括:温控器、功率部件、超温保护部件、系统控制。
系统控制部分有
扩散炉网络控制
扩散炉网络控制
四个独立的计算机控制单元,分别控制每层炉管的推舟、炉温及气路部分,是扩散/氧化系统的控制中心。
辅助控制系统,包括推舟控制装置、保护电路、电路转接控制、三相电源指示灯、照明、净化及抽风开关等。
较先进的扩散炉控制系统均已更新或升级到微机控制,管机与主机间通过串口RS232或网线进行通信。控制系统软件大多基于Windows系统,实用性和可操作性大大提高,能够实现日志记录,曲线记录,程序编辑,远程控制等多种功能。

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