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扩散炉的分类

点击数:26422015-12-14 00:00:00 来源: 青岛福润德微电子设备有限公司

新闻摘要:水平炉管

 扩散炉有两种分类方式,一种是以结构分类;第二种是以扩散元分类。
    扩散炉如果以结构来分类,可以分为如下类型:
    1、水平炉管反应炉:从20世纪60年代早期开始应用在氧化、扩散、热处理以及各种电机工艺中,它最先被开发用在锗技术里的扩散工艺中。
    2、垂直炉管反应炉:垂直炉最大的优点使占地面积小,缺点是一台垂直炉价格相当于一台四关水平炉。另外,由于垂直炉可以使硅片旋转,所以垂直炉的均匀性很好。
    3、快速升温反应炉:当晶圆尺寸变大,升温的时间会增加成本并成为芯片厂的“瓶颈”。为了解决这个问题,引进了快速升温,小批量生产的反应炉,这也就是大功率加热的小水平炉。

    扩散炉如果以扩散源来分类,可以分为以下类型:
    1、液态源:源为含所需杂质的氯化物或溴化物。
    2、气态源:所有园景厂都偏好使用气态源,主要是杂质原子的氢化物。
    3、固态源:最原始的扩散源。




    以上内容就是对于扩散炉分类的介绍,希望能帮助到您。只有平时多了解关于扩散炉的知识,在选购扩散炉的时候才不会一无所知,被销售忽悠了。
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