扩散炉的规格有哪些

点击数：26962015-12-14 00:00:00　来源: 青岛福润德微电子设备有限公司

扩散炉种类很多，按每台炉子的炉管数可分为单管炉和多管炉；按结构形式可分为卧式和立式；按恒温区长度可分为大、中、小三种，大型的恒温区可分为大、中、小三种，大型的恒温区为600-400毫米，中型的为400-200毫米，小型的
为200毫米左右。扩散炉的分类主要有以下几种：
1、单管扩散炉
每台扩散炉只有一个炉管、一套温度控制器和可控硅装置的扩散炉。结构简单，但由于受半导体工艺车间净化面积的限制，一般多采用多管扩散炉。
2、多管扩散炉
每台炉子由二个或二个以上炉管的扩散炉。目前大多数采用三管炉。使用时将两台三管炉靠背放置即成六管炉。使用时将两台三管炉背靠背放置即成六管炉，它只需配置一套净化台，从而缩小了占地面积和净化费用。
3、卧式扩散炉
炉膛呈水平放置的扩散炉。结构分为上下架。上架放置炉体，下架有温度控制器和可控硅装置，其数目与炉管数目相同。
此外扩散炉的分类还有双温区真空扩散炉和激光功率扩散炉等。