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扩散炉不能升温怎么办

点击数:29722015-12-14 00:00:00 来源: 青岛福润德微电子设备有限公司

新闻摘要:检查触发板 可控硅 炉丝

扩散炉不能升温,主要与温控板及加触发板有关,应该从以下几个方面进行检查:
1、检查触发板上的触发指示灯亮不亮。如果不亮,说明没有触发信号。再检查控制 柜面板上的加热指示灯是否亮。

如果亮,说明触发板与下位机机箱转接之间的连接信号线转接插头接触不好;如果不亮,说明系统温度参数没配置好

或温控板有问题。  
2、如果触发板上的触发指示灯亮,说明触发板上有触发信号,则应检查变压器输出 电压是否正常。如果正常,检查

可控硅是否开路。 
3、检查炉体的炉丝是否烧断。

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