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微控扩散炉

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应用于硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺领域

太阳能扩散炉

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应用于光伏电池中硅片的扩散工艺

氧化扩散炉

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应用于对硅片的扩散、氧化、退火、合金等工艺领域

程控扩散炉

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应用于对硅片扩散、氧化、退火、合金工艺领域