产品详情

（青岛福润德微电子设备有限公司）设备用途:
     用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。
链（带）式烧结炉特点       
      1、本设备为气氛保护炉，保护气氛为氢气、氮气、氩气等。
      2、设备具有连续工作性，保证生产效率。
      3、独特的气幕帘结合，确保炉膛与空气隔绝。
      4、多温区控制炉温，方便调整工艺曲线。
      5、链带速度无级连续可调。
      6、根据用户要求可配加湿器
链(带)式烧结炉主要技术指标
     1、带宽          90～350mm
      2、炉膛高度      100～200mm
      3、炉膛宽度      100～370mm
      4、冷却段长      1000～6000mm
      5、温度范围      300～1050℃
      6、等温区长      600～1500mm
      7、控制精度      ±2℃
      8、控制段数      4～10段
      9、带速         20～500mm/min
      10、升温时间      90～240min
      11、升温功率      20～120KVA
      12、保护气体      3～5路氮气0～100L/min 
                                1路氢气0～80L/min