CHANPINFENLEI
LIANXIWOMEN
DIZHI:ZHONGGUOSHANDONGQINGDAOSHIBEIWANGONGYEYUANFURUNDELU6HAO
LIANXIREN:YANXIANSHENG
SHOUJI:13658669338
CHUANZHEN:0532-68017157
XINGHAO:
GUIGE:
(青岛福润德微电子设备有限公司)设备用途:
用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等。
链(带)式烧结炉特点
1、本设备为气氛保护炉,保护气氛为氢气、氮气、氩气等。
2、设备具有连续工作性,保证生产效率。
3、独特的气幕帘结合,确保炉膛与空气隔绝。
4、多温区控制炉温,方便调整工艺曲线。
5、链带速度无级连续可调。
6、根据用户要求可配加湿器
链(带)式烧结炉主要技术指标
1、带宽 90~350mm
2、炉膛高度 100~200mm
3、炉膛宽度 100~370mm
4、冷却段长 1000~6000mm
5、温度范围 300~1050℃
6、等温区长 600~1500mm
7、控制精度 ±2℃
8、控制段数 4~10段
9、带速 20~500mm/min
10、升温时间 90~240min
11、升温功率 20~120KVA
12、保护气体 3~5路氮气0~100L/min
1路氢气0~80L/min