CHANPINFENLEI
LIANXIWOMEN
DIZHI:ZHONGGUOSHANDONGQINGDAOSHIBEIWANGONGYEYUANFURUNDELU6HAO
LIANXIREN:YANXIANSHENG
SHOUJI:13658669338
CHUANZHEN:0532-68017157
XINGHAO:KEDINGZHI
GUIGE:
(青岛福润德微电子设备有限公司)Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落而影响工作腔体接近度,二是手动填塞保温棉不均匀,影响工作去温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震,耐腐蚀。
技术指标:
1、保温材料:进口石英纤维棉
2、产品尺寸:根据客户扩散炉或者PVCVD设备炉体口径定制
3、使用温度:<=1287℃
4、线性收缩:<=0.1%