产品详情

（青岛福润德微电子设备有限公司）Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成，用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温，解决了以往保温棉存在的两大问题：一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落而影响工作腔体接近度，二是手动填塞保温棉不均匀，影响工作去温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下，不粉化，不硬化，不氧化，不变形，防震，耐腐蚀。

技术指标：

1、保温材料：进口石英纤维棉

2、产品尺寸：根据客户扩散炉或者PVCVD设备炉体口径定制

3、使用温度：<=1287℃

4、线性收缩：<=0.1%