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石英领

XINGHAO:KEDINGZHI

GUIGE:

产品简介: 替代早期用保温棉隔热方式,深受广大扩散炉使用者的欢迎!

产品详情

(青岛福润德微电子设备有限公司)Soft collar 为进口石英纤维棉采用德国加工工艺制成,用于扩散炉和PECVD设备中炉体和石英管之间的隔热保温,解决了以往保温棉存在的两大问题:一是保温棉长时间高温下出现粉化脱落而影响工作腔体接近度,二是手动填塞保温棉不均匀,影响工作去温度稳定性和均匀性。本产品可长期使用在高温下,不粉化,不硬化,不氧化,不变形,防震,耐腐蚀。

技术指标:

1、保温材料:进口石英纤维棉

2、产品尺寸:根据客户扩散炉或者PVCVD设备炉体口径定制

3、使用温度:<=1287

4、线性收缩:<=0.1%


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点击数:6270 录入时间:2015-12-02 08:31:35【打印此页】【返回