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井式真空炉

XINGHAO:KEDINGZHI

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产品详情

(青岛福润德微电子设备有限公司)井式/立式真空炉主要用于半导体器件烧结、封焊,太阳能电池片烘干、焊接及金属化管壳等气密性封装,玻璃容器的烧结及各种零件在氢氮保护下进行的工艺。

井式真空炉技术指标:

1、真空室工位数:1~3位

2、真空度:1Pa,加扩散泵5×10-3 Pa

3、工作温度:<1000℃

4、充气的最高压强:0.3MPa(可控)

5、不锈钢内胆:Φ150~Φ350*1300mm

6、恒温区:600~1200mm±1

7、控温方式:三点三段采用原装进口 高精度控温仪

8、控温曲线:9段升降温/999小时

9、工作方式:自动或手动自由转换

10、单点精度:±1℃/24h

11、正压负压均采用数字显示表可多工位同时工作


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点击数:6948 录入时间:2015-12-02 08:29:41【打印此页】【返回